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一種大尺寸高性能氧化鈮靶材的制備方法

本發明經過本局依照中華人民共和國專利法進行審查，決定授予專利權，頒發本證書并在專利登記簿上予以登記。專利權自授權公告之日起生效。本專利的專利權期限為二十年，自中請日起算。專利權人應當依照專利法及其實施細則規定繳納年費。

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